Al vele jaren ontwikkelt en bouwt DEMCON uiterst complexe kwalificatietools ter ondersteuning van zowel ontwikkeling als productie bij ASML. Een recent voorbeeld is de PMQT4, de Position Module Qualification Tool Mk 4. Dit betreft de vierde generatie kwalificatietool voor de waferpositioneringsmodule van een ASML lithografiemachine, in dit geval het NXT-platform.
De kwalificatiesystemen van DEMCON hebben dezelfde mechanische interface als de ASML-machines en zijn voorzien van complexe besturingssoftware voor real-time regelingen in meerdere vrijheidsgraden. Ze testen en kwalificeren een groot aantal eigenschappen – in het magnetische, elektrische, mechanische, thermische en software (besturing) domein – van de aansluitingen van leidingen en kabels, tot de hoognauwkeurige specificaties voor het dynamisch gedrag.
Kwalificatie van een position module met de PQMT4 kost enkele uren. In die tijd worden meer dan 200 parameters gekwalificeerd, zoals positioneringsnauwkeurigheden, stijfheden, motorconstanten en connectivity (elektrisch, pneumatisch en water). DEMCON koos voor een compleet herontwerp, met het oog op verbetering van de betrouwbaarheid en versnelling van het ontwikkelingsproces bij ASML. Zo werd het aantal testen voor connectivity uitgebreid, de betrouwbaarheid van de tool verder vergroot en de ergonomie (toegankelijkheid van de tool) verbeterd. Ook voor de ultieme test – de kwalificatie van de kwalificatietool – wist DEMCON weer slimme oplossingen te bedenken. Zoals bij bijna alle ASML projecten het geval is vindt de ontwikkeling in hechte samenwerking met ASML plaats. Engineers van beide bedrijven werken nauw samen tijdens de hele projectcyclus om een goed resultaat te garanderen en om negatieve verrassingen te voorkomen.
Voor nauwkeurige positionering over een groot bereik bevat de position module afzonderlijke stages voor een lange- en een korte-slagbeweging (long stroke en short stroke). DEMCON heeft de PMQT4 zo ingericht dat de long en de short stroke afzonderlijk zijn te testen. Dit zorgt in de ontwikkelingsfase voor een verkorting van het ontwerpproces. Immers, ontwerpers van de ene stage hoeven niet meer te wachten totdat een proto van de andere beschikbaar is, maar kunnen alvast gaan testen.
DEMCON voert projecten voor de bouw van kwalificatietools uit op turnkey-basis. Omdat deze tools bij ASML in de productie worden ingezet, moeten ze snel en eenvoudig te bedienen zijn en zo weinig mogelijk stilstand hebben. Daartoe verzorgt DEMCON het onderhoud en biedt het 24/7 service. Zo weet DEMCON zich telkens weer te kwalificeren als een betrouwbare partner van ASML.
